Формирование функциональных слоев соединений кремния с никелем, кобальтом, железом и палладием ионной имплантацией и ионно-плазменным нанесением: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01: защищена 19.11.09: утверждена 03.02.10 / Коробко Александра Олеговна

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//2122(039),
Вид документа: Диссертации
Автор: Коробко, А. О.
Опубликовано: Минск , 2009
Физические характеристики: 138 л. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0000469600
005 20220412164039.0
100 # # $a 20100317h20092010k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Формирование функциональных слоев соединений кремния с никелем, кобальтом, железом и палладием ионной имплантацией и ионно-плазменным нанесением  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.01  $e защищена 19.11.09  $e утверждена 03.02.10  $f Коробко Александра Олеговна  $g научный руководитель Достанко А. П.  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2009 
215 # # $c ил.  $a 138 л. 
320 # # $a Библиография: л. 120—134 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000410263 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2377740  $a СПИНТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12168  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18853  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2448443  $a ИОНЫ МЕТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20786  $a НИКЕЛЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13713  $a КОБАЛЬТ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar53648  $a ПАЛЛАДИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar10310  $a ЖЕЛЕЗО  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar16865  $a МАГНИТНЫЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar16841  $a МАГНИТНАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39110  $a ЭЛЕКТРОННЫЙ ПАРАМАГНИТНЫЙ РЕЗОНАНС  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:621.793(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
686 # # $a 55.22  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 53.41.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-1450506  $a Коробко  $b А. О.  $g Александра Олеговна  $c кандидат технических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20091019  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/DD/200925111130.pdf