Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 01.04.07 / Салтымаков Максим Сергеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Салтымаков, М. С. |
| Опубликовано: | Томск , 2010 |
| Физические характеристики: |
18 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||