Свойства многослойных затворных структур МОП нанотранзисторов, на основе силицидов и диэлектриков с высоким є, полученных методами магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 05.27.01 / Рогожин Александр Евгеньевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рогожин, А. Е. |
| Опубликовано: | Москва , 2009 |
| Физические характеристики: |
24 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||