|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000444656 |
| 005 |
20220412163733.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20100123d2009 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Овчинников Вячеслав Алекеевич
$g [ГОУ ВПО "Московский государственный институт электронной техники (технический университет)"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2009
|
| 215 |
# |
# |
$a 30 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 29—30 (17 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85262
$a ФОТОШАБЛОНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3349736
$a ТОПОЛОГИЧЕСКИЕ ДЕФЕКТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14772
$a КОРРЕКЦИЯ (техн.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85368
$a ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.35
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$a Овчинников
$b В. А.
$g Вячеслав Алексеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20100123
$g psbo
|
