Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Овчинников Вячеслав Алекеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Овчинников, В. А. |
| Опубликовано: | Москва , 2009 |
| Физические характеристики: |
30 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||