Исследование процессов формирования контактов и границы активного слоя с целью повышения воспроизводимости и улучшения характеристик СВЧ полевых транзисторов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Лапин Владимир Григорьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//67790(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Лапин, В. Г.
Опубликовано: Фрязино , 2009
Физические характеристики: 23 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000396907
005 20221222092841.0
100 # # $a 20090917d2009 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование процессов формирования контактов и границы активного слоя с целью повышения воспроизводимости и улучшения характеристик СВЧ полевых транзисторов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.01  $f Лапин Владимир Григорьевич  $g [ФГУП "Научно-производственное предприятие "ИСТОК"] 
210 # # $a Фрязино  $d 2009 
215 # # $a 23 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 21—23 (19 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2125662  $a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24309  $a ПОЛЕВЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2143210  $a ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ КОНТАКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24596  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2130891  $a НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЕ РАБОТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14373457  $a ЗАТВОРЫ (электроника)  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.33.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.10  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.13  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.77  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $a Лапин  $b В. Г.  $g Владимир Григорьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20090917  $g psbo