Исследование процессов формирования контактов и границы активного слоя с целью повышения воспроизводимости и улучшения характеристик СВЧ полевых транзисторов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Лапин Владимир Григорьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лапин, В. Г. |
| Опубликовано: | Фрязино , 2009 |
| Физические характеристики: |
23 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||