|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000313151 |
| 005 |
20220412163804.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20090327d2009 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-технологические основы получения многослойных структур для ИС и элементов МЭМС
$e автореферат диссератации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e 05.27.06
$f Калугин Виктор Владимирович
$g [Московский государственный институт электронной техники (технический университет)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2009
|
| 215 |
# |
# |
$a 41 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 31—41 (85 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381861
$a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3170564
$a МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83377
$a КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ-ТЕХНОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2320
$a АМОРФНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33866
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35939
$a ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.03.05
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.41
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-1182336
$a Калугин
$b В. В.
$g Виктор Владимирович
$c доктор технических наук
$f род. 1973
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20090327
$g psbo
|
