Физико-технологические основы получения многослойных структур для ИС и элементов МЭМС: автореферат диссератации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Калугин Виктор Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Калугин, В. В. (род. 1973) |
| Опубликовано: | Москва , 2009 |
| Физические характеристики: |
41 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||