Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных структур и элементов оборудования для создания устройств электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Симакин Сергей Борисович
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Симакин, С. Б. |
| Wydane: | Москва , 2009 |
| Opis fizyczny: |
48 с. : ил.
|
| Język: | rosyjski |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||