Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных структур и элементов оборудования для создания устройств электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Симакин Сергей Борисович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Симакин, С. Б. |
| Опубликовано: | Москва , 2009 |
| Физические характеристики: |
48 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||