Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных структур и элементов оборудования для создания устройств электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Симакин Сергей Борисович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//55993(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Симакин, С. Б.
Опубликовано: Москва , 2009
Физические характеристики: 48 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//55993(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:86 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал