|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000299527 |
| 005 |
20090410143518.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20090305d2009 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных структур и элементов оборудования для создания устройств электронной техники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e 05.27.06
$f Симакин Сергей Борисович
$g [ФГУП "НИИВТ им. С. А. Векшинского" г. Москва, Государственный технологический университет "Московский институт стали и сплавов"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2009
|
| 215 |
# |
# |
$a 48 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 44—48 (52 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20472
$a НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12168
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34175
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39076
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24594
$a ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-1086255
$a Симакин
$b С. Б.
$g Сергей Борисович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20090305
$g psbo
|
