|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000269020 |
| 005 |
20180215134803.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20090109d2008 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование процессов локально-селективной обработки материалов и элементов электронной техники наноразмерным ионным пучком
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Савенко Алексей Юрьевич
$g [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2008
|
| 215 |
# |
# |
$a 18 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 18 (12 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39076
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39330
$a ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39132
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar55319
$a ПРЕЦИЗИОННАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12162
$a ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12180
$a ИОННЫЕ ПУЧКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2183489
$a НАНОЧАСТИЦЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13179776
$a СЕЛЕКТИВНОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.13
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$a Савенко
$b А. Ю.
$g Алексей Юрьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20090109
$g psbo
|
