Исследование процессов локально-селективной обработки материалов и элементов электронной техники наноразмерным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Савенко Алексей Юрьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Савенко, А. Ю. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2008 |
| Физические характеристики: |
18 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||