|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000262514 |
| 005 |
20090114142934.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20081220d2008 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Митченко Иван Сергеевич
$g [ГОУ ВПО "Северо-Кавказский государственный технический университет"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Ставрополь
$d 2008
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 20—22 (19 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18853
$a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2187791
$a КАРБИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18308
$a МИКРОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.04
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$a Митченко
$b И. С.
$g Иван Сергеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20081220
$g psbo
|
