Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Митченко Иван Сергеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Митченко, И. С. |
| Опубликовано: | Ставрополь , 2008 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||