Технология структур "карбид кремния-кремний" для приборов микроэлектроники и микросистемной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Матузов Антон Викторович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Матузов, А. В. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2008 |
| Физические характеристики: |
16 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||