|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000251380 |
| 005 |
20081229095741.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20081202d2008 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Особенности энерговклада в пространственно ограниченные ВЧ индуктивные источники плазмы низкого давления
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук
$e 01.04.08
$f Кралькина Елена Александровна
$g [Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2008
|
| 215 |
# |
# |
$a 40 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 33-40 (64 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23657
$a ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2437278
$a ИНДУКЦИОННЫЕ РАЗРЯДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6590
$a ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ РАЗРЯДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20760
$a НИЗКИЕ ДАВЛЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35847
$a ФИЗИКА ПЛАЗМЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.08
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2938828
$a Кралькина
$b Е. А.
$g Елена Александровна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20081202
$g psbo
|
