Особенности энерговклада в пространственно ограниченные ВЧ индуктивные источники плазмы низкого давления: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: 01.04.08 / Кралькина Елена Александровна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кралькина, Е. А. |
| Опубликовано: | Москва , 2008 |
| Физические характеристики: |
40 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||