|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000238165 |
| 005 |
20081120150623.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20081106d2008 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a g m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Численное моделирование формирования изображения в проекционной фотолитографии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 01.04.03
$f Рыжикова Юлия Владимировна
$g Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2008
|
| 215 |
# |
# |
$a 17 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 16-17 (11 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85256
$a ФОТОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2739453
$a КАЧЕСТВО ИЗОБРАЖЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar52040
$a ДИФРАКЦИОННЫЕ РЕШЕТКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18687
$a МОДУЛЯТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar37857
$a ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a фазово-растровые маски
|
| 610 |
0 |
# |
$a фазава-растравыя маскі
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.31.29
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 27.41.77
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.03.11
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.35.19
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.03
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Рыжикова
$b Ю. В.
$g Юлия Владимировна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20081106
$g psbo
|
