Численное моделирование формирования изображения в проекционной фотолитографии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.03 / Рыжикова Юлия Владимировна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//46055(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Рыжикова, Ю. В.
Опубликовано: Москва , 2008
Физические характеристики: 17 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//46055(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:86 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал