Численное моделирование формирования изображения в проекционной фотолитографии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.03 / Рыжикова Юлия Владимировна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рыжикова, Ю. В. |
| Опубликовано: | Москва , 2008 |
| Физические характеристики: |
17 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||