Эпитаксиальные слои кремния и германия для интегральных микросхем / В. А. Емельянов, А. С. Турцевич, О. Ю. Наливайко

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//128135(039), 1Н//128136(039),
Вид документа: Книги
Автор: Емельянов, В. А. (род. 1948)
Опубликовано: Минск : Интегралполиграф , 2008
Физические характеристики: 286, [1] c. : ил. ; 22 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0000236949
005 20220412155548.0
010 # # $a 978-985-6845-10-2  $b в переплете 
100 # # $a 20081104d2008 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Эпитаксиальные слои кремния и германия для интегральных микросхем  $f В. А. Емельянов, А. С. Турцевич, О. Ю. Наливайко 
210 # # $a Минск  $c Интегралполиграф  $d 2008 
215 # # $a 286, [1] c.  $c ил.  $d 22 см 
320 # # $a Библиография в конце глав 
345 # # $9 500 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39622  $a ЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2685025  $a ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39620  $a ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2246902  $a КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7308  $a ГЕРМАНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.793.162  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.774  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.19  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar2502537  $a Емельянов  $b В. А.  $g Виктор Андреевич  $c доктор технических наук  $f род. 1948 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2502584  $a Турцевич  $b А. С.  $g Аркадий Степанович  $c доктор технических наук  $f род. 1958 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2502673  $a Наливайко  $b О. Ю.  $g Олег Юрьевич  $c кандидат технических наук, электроника 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20081104  $g psbo