Эпитаксиальные слои кремния и германия для интегральных микросхем / В. А. Емельянов, А. С. Турцевич, О. Ю. Наливайко
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Емельянов, В. А. (род. 1948) |
Опубликовано: | Минск : Интегралполиграф , 2008 |
Физические характеристики: |
286, [1] c. : ил. ; 22 см
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|