Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06: защищена 03.04.08: утверждена 25.06.08 / Аваков Сергей Мирзоевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Аваков, С. М. (род. 1955) |
| Опубликовано: | Минск , 2007 |
| Физические характеристики: |
301 л. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||