|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000146535 |
| 005 |
20080311152534.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20080215d2008 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Структура и свойства функциональных слоев нитрида кремния на различных стадиях их формирования в технологии устройств нано- и микросистемной техники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.02.01
$f Обижаев Денис Юрьевич
$g ["МАТИ" — Российский государственный технологический университет им. К. Э. Циолковского]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2008
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21-22 (7 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18296
$a МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar67566
$a НАНОТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20812
$a НИТРИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar32347
$a СТРУКТУРА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2764600
$a СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23671
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22114
$a ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34342
$a ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.39
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.02.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Обижаев
$b Д. Ю.
$g Денис Юрьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080215
$g psbo
|
