Структура и свойства функциональных слоев нитрида кремния на различных стадиях их формирования в технологии устройств нано- и микросистемной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.02.01 / Обижаев Денис Юрьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Обижаев, Д. Ю. |
| Опубликовано: | Москва , 2008 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||