|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000140302 |
| 005 |
20080313135419.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20080130d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование процессов 3D- структурирования в электронной литографии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 05.27.01
$f Князев Максим Александрович
$g [Институт проблем технологии микроэлекроники и особочистых материалов РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a Черноголовка
$d 2007
|
| 215 |
# |
# |
$a 18 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 18 (11 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2665900
$a НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34588
$a ТРЕХМЕРНЫЕ ОБЪЕКТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2790912
$a РЕЗИСТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2790865
$a ОПТИЧЕСКИЙ КОНТРАСТ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2790887
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar32358
$a СТРУКТУРИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar38712
$a ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.81
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.77
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Князев
$b М. А.
$g Максим Александрович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080130
$g psbo
|
