Исследование процессов 3D- структурирования в электронной литографии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 05.27.01 / Князев Максим Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Князев, М. А. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 2007 |
| Физические характеристики: |
18 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||