|
|
|
|
|
00000cbm0a2200000 id4500 |
001 |
BY-NLB-br0000129110 |
005 |
20140827122557.3 |
100 |
# |
# |
$a 20071226h20072007k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a BY
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ab
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Формирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники
$e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$e защищена 20.09.07
$e утверждена 28.11.07
$f Огер Виктор Павлович
$g научный руководитель Карпович С. Е.
$g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
|
210 |
# |
# |
$a Минск
$d 2007
|
215 |
# |
# |
$a 166 л.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: л. 136-146
|
488 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-br0000077173
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar29174
$a СБОРОЧНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14626
$a КООРДИНАТ СИСТЕМА (мат.)
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34338
$a ТОЧНОСТЬ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14(043.3)(476)
$v 4
$z rus
|
686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 nsnrrb
|
686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
$v 5
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
$v 5
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2696005
$a Огер
$b В. П.
$g Виктор Павлович
$c кандидат технических наук, электроника
|
712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar186905
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$4 595
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070809
$g psbo
|
856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/DD/200701101300.pdf
|