Формирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06: защищена 20.09.07: утверждена 28.11.07 / Огер Виктор Павлович

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//789(039), #32Н//14478CD(055),
Вид документа: Диссертации
Автор: Огер, В. П.
Опубликовано: Минск , 2007
Физические характеристики: 166 л. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0000129110
005 20140827122557.3
100 # # $a 20071226h20072007k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Формирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.06  $e защищена 20.09.07  $e утверждена 28.11.07  $f Огер Виктор Павлович  $g научный руководитель Карпович С. Е.  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2007 
215 # # $a 166 л.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: л. 136-146 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000077173 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18374  $a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29174  $a СБОРОЧНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14626  $a КООРДИНАТ СИСТЕМА (мат.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34338  $a ТОЧНОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.771.14(043.3)(476)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 5 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar2696005  $a Огер  $b В. П.  $g Виктор Павлович  $c кандидат технических наук, электроника 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070809  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/DD/200701101300.pdf