Формирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06: защищена 20.09.07: утверждена 28.11.07 / Огер Виктор Павлович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Огер, В. П. |
| Опубликовано: | Минск , 2007 |
| Физические характеристики: |
166 л. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||