|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000128956 |
| 005 |
20220412160003.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 978-985-6845-03-4
$b в переплете
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071226d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a z 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ca
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование из газовой фазы функциональных слоев интегральных микросхем
$f А. С. Турцевич, В. А. Емельянов
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c Интегралполиграф
$d 2007
|
| 215 |
# |
# |
$a 221 с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце глав
|
| 345 |
# |
# |
$9 500 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23914
$a ПОВЕРХНОСТНЫЙ СЛОЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:621.793.16
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 5
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2502584
$a Турцевич
$b А. С.
$g Аркадий Степанович
$c доктор технических наук
$f род. 1958
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2502537
$a Емельянов
$b В. А.
$g Виктор Андреевич
$c доктор технических наук
$f род. 1948
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071226
$g psbo
|
