Формирование из газовой фазы функциональных слоев интегральных микросхем / А. С. Турцевич, В. А. Емельянов

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//68041(039), 1Н//68042(039), #1Н//39101(055),
Вид документа: Книги
Автор: Турцевич, А. С. (род. 1958)
Опубликовано: Минск : Интегралполиграф , 2007
Физические характеристики: 221 с. : ил. ; 22 см
Язык: Русский
Предмет:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ПОВЕРХНОСТНЫЙ СЛОЙ
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 2 , доступно: 2 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
1Н//68041(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 15:1:2:8 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал
1Н//68042(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 15:1:2:8 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал

Схожие документы