Диагностика плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: 05.27.01 / Руденко Константин Васильевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Руденко, К. В. |
| Опубликовано: | Москва , 2007 |
| Физические характеристики: |
45 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||