Методы контроля содержания паров воды в подкорпусном объеме интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Шишкина Наталья Александровна
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Шишкина, Н. А. |
| Wydane: | Воронеж , 2007 |
| Opis fizyczny: |
15 с. : ил.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||