Методы контроля содержания паров воды в подкорпусном объеме интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Шишкина Наталья Александровна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//21660(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Шишкина, Н. А.
Опубликовано: Воронеж , 2007
Физические характеристики: 15 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//21660(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:85 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал