Методы контроля содержания паров воды в подкорпусном объеме интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Шишкина Наталья Александровна
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Шишкина, Н. А. |
| Published: | Воронеж , 2007 |
| Physical Description: |
15 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||