Методы контроля содержания паров воды в подкорпусном объеме интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Шишкина Наталья Александровна
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Шишкина, Н. А. |
| Апублікавана: | Воронеж , 2007 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
15 с. : ил.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||