Методы контроля содержания паров воды в подкорпусном объеме интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Шишкина Наталья Александровна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//21660(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Шишкина, Н. А.
Опубликовано: Воронеж , 2007
Физические характеристики: 15 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000091477
005 20220504162455.0
100 # # $a 20070925d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Методы контроля содержания паров воды в подкорпусном объеме интегральных схем  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.01  $f Шишкина Наталья Александровна  $g [Воронежский государственный технический университет] 
210 # # $a Воронеж  $d 2007 
215 # # $a 15 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 14-15 (17 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20472  $a НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5538  $a ВЛАЖНОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 NLB-BY-ar2745725  $a ДАТЧИКИ ВЛАЖНОСТИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18376  $a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.33.31  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.81  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 59.37  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 59.45  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 50.09.37  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Шишкина  $b Н. А.  $g Наталья Александровна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070925  $g psbo