|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000065141 |
| 005 |
20070723114206.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070621d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.11.14 ; 05.02.08
$f Игонина Татьяна Ивановна
$g [Пензенский государственный университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Пенза
$d 2007
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 20-22 (12 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24620
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12100
$a ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22252
$a ОТДЕЛОЧНАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1377
$a АБРАЗИВНАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23928
$a ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar84038
$a КАЧЕСТВО ПОВЕРХНОСТИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24592
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.11.14
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.02.08
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.19.05
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.13
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.81
$2 rugasnti
$v 5
|
| 700 |
# |
1 |
$a Игонина
$b Т. И.
$g Татьяна Ивановна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070621
$g psbo
|
