Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.11.14 ; 05.02.08 / Игонина Татьяна Ивановна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Игонина, Т. И. |
| Опубликовано: | Пенза , 2007 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||