Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.11.14 / Наумов Александр Сергеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//14649(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Наумов, А. С.
Опубликовано: Москва , 2007
Физические характеристики: 19 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000058367
005 20070719132911.0
100 # # $a 20070601d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.11.14  $f Наумов Александр Сергеевич  $g [Московский государственный университет приборостроения и информатики] 
210 # # $a Москва  $d 2007 
215 # # $a 19 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 16-19 (23 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21869  $a ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23734  $a ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381802  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6882  $a АРСЕНИД ГАЛЛИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2326536  $a САПФИРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar55319  $a ПРЕЦИЗИОННАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27243  $a РАЗДЕЛЕНИЕ (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15206  $a КРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20902  $a НОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25418  $a ПРИБОРОСТРОЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2673442  $a СКРАЙБИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
610 0 # $a лазерное термораскалывание 
610 0 # $a лазернае тэрмараскалыванне 
686 # # $a 55.20.15  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 59.13.15  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 59.13.17  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 30.19.19  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 05.11.14  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Наумов  $b А. С.  $g Александр Сергеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070601  $g psbo