Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.11.14 / Наумов Александр Сергеевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Наумов, А. С. |
Опубликовано: | Москва , 2007 |
Физические характеристики: |
19 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|