Научные основы создания ресурсосберегающих технологий очистки поверхности полупроводниковых структур на базе электрохимического синтеза и рекуперации растворов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Ковалев Анатолий Андреевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ковалев, А. А. (род. 1961) |
| Опубликовано: | Москва , 2007 |
| Физические характеристики: |
49 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||