Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06: защищена 07.12.06: утверждена 28.02.07 / Васюков Александр Всеволодович

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//348(039),
Вид документа: Диссертации
Автор: Васюков, А. В.
Опубликовано: Минск , 2006
Физические характеристики: 128 л. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ХИМИЧЕСКИЕ ПРОИЗВОДСТВА
ХИМИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ОТХОДЫ
ПЕРЕРАБОТКА ОТХОДОВ
АПАТИТ
ГИДРОГЕНИЗАЦИЯ
МОНОСИЛАН
ТЕТРАФТОРИД КРЕМНИЯ
ФТОРИДЫ КРЕМНИЯ
ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКТОРЫ
БАРБОТИРОВАНИЕ
ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
ПОЛІКРЫШТАЛІЧНЫ КРЭМНІЙ
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0000049570
005 20140827122546.3
100 # # $a 20070507h20062006k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
200 1 # $a Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.06  $e защищена 07.12.06  $e утверждена 28.02.07  $f Васюков Александр Всеволодович  $g научный руководитель А. П. Достанко  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2006 
215 # # $a 128 л.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: л. 102-112 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br861307 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36813  $a ХИМИЧЕСКИЕ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36783  $a ХИМИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2146634  $a ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ОТХОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2344877  $a ПЕРЕРАБОТКА ОТХОДОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar64371  $a АПАТИТ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7480  $a ГИДРОГЕНИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2455573  $a МОНОСИЛАН  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2455305  $a ТЕТРАФТОРИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2455577  $a ФТОРИДЫ КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36841  $a ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52909  $a БАРБОТИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3171698  $a ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3171700  $a ПОЛІКРЫШТАЛІЧНЫ КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 661.686.094.25(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
686 # # $a 61.31.47  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 61.13.21  $2 rugasnti  $v 5 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar2642316  $a Васюков  $b А. В.  $g Александр Всеволодович  $c кандидат технических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061108  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061208  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/DD/200611121300.pdf 

Схожие документы