Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06: защищена 07.12.06: утверждена 28.02.07 / Васюков Александр Всеволодович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Васюков, А. В. |
| Опубликовано: | Минск , 2006 |
| Физические характеристики: |
128 л. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||