Устройства со скрещенными электрическим и магнитным полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.02 / Соловьев Андрей Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Соловьев, А. А. |
| Опубликовано: | Томск , 2007 |
| Физические характеристики: |
21 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||