|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000032160 |
| 005 |
20220412160106.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-94836-039-3
$b в переплете
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070320d2006 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a z 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
$f В. Киреев, А. Столяров
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Техносфера
$d 2006
|
| 215 |
# |
# |
$a 190 с.
$c ил., табл.
$d 22 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Мир электроники
$v VII-17
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 188―190 (52 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1500 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83769
$a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39622
$a ЭПИТАКСИЯ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36783
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36841
$a ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4857
$a ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.1-027.3:621.793.16
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.31.59
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.31
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 5
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2517398
$a Киреев
$b В. Ю.
$g Валерий Юрьевич
$f 1949—
|
| 701 |
# |
1 |
$a Столяров
$b А. А.
$g Александр Александрович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070320
$g psbo
|
