Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / В. Киреев, А. Столяров
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Киреев, В. Ю. (1949— ) |
| Опубликовано: | Москва : Техносфера , 2006 |
| Физические характеристики: |
190 с. : ил., табл. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Мир электроники
VII-17 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||