|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000028283 |
| 005 |
20070615153243.4 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070312d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Автоматизация контроля скоростей распыления и осаждения тонких пленок методом электронно-эмиссионной спектроскопии при магнетронном нанесении
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.13.06
$f Ломанов Алексей Николаевич
$g [Рыбинская государственная авиационная технологическая академия им. П. А. Соловьёва]
|
| 210 |
# |
# |
$a Рыбинск
$d 2007
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 15-16 (11 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22114
$a ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar27459
$a РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2643528
$a МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2643549
$a ЭЛЕКТРОННО-ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.13
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.29.37
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.31.26
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-143839
$a Ломанов
$b А. Н.
$g Алексей Николаевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070312
$g psbo
|
