Автоматизация контроля скоростей распыления и осаждения тонких пленок методом электронно-эмиссионной спектроскопии при магнетронном нанесении: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.06 / Ломанов Алексей Николаевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ломанов, А. Н. |
| Опубликовано: | Рыбинск , 2007 |
| Физические характеристики: |
16 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||